X荧光光谱仪中的X射线早在1913年,既已被英国年青的物理学家莫斯莱( Moseley）进行了详细研究，他通过研究不同元素特征X射线谱，并依据实验结果确立了原子序数Z与X射线波长之间的关系，而这也就是莫斯莱定律。它其实是一种原子物理学，被广泛应用于原子物理学科中。 

因为不同特征X射线存在于不同元素中，而根据特征谱线的波长，可以判定元素的存在，根据谱线的强度，又可进定量分析。而前者在原子物理学中则被称之为定性分析法，后者被称之为定量分析法。

X荧光光谱仪中的X射线光谱分析

每一种元素都有其特定波长的特征X射线。试样受X射线照射后,其中各元素原子的内壳层(KL或M层)电子被激发逐出原子而引起电子跃迁,并发射出该元素的特征X射线荧光。元素特征X射线的强度与该元素在试样中的原子数量(即含量)成比例,因此,通过测量试样中某元素特征X射线的强度,采用适当的方法进行校准与校正,便可求出该元素在试样中的百分含量,也就是所谓的定量分析。

X荧光光谱分析分析范围很广，可从Be-U,而且对分析试样的物理状态不作要求，像固体、粉末、晶体、非晶体都可作为试验对象。也不受元素的化学状态的影响。重要的是它属于物理过程中的非破损性分析，是一种试样不发生化学变化的无损分析方法。它还可以对均匀试样进行表面的分析。

X荧光光谱分析被应用于很多领域，比如地质、冶金、矿山、电子机械、石油、化工、航空、航天材料、农业、生态环境、建筑材料、商检等领域的材料化学成分分析，它的直接分析对象有以下几种:

1.固体

A.块状样品(规则不规则)，比如：钢铁，有色行业纯金属或多元合金、金饰品等；

B.线状样品,包括线材,可以直接测量；

C.钻削,不规则样品可以直接测；

2.粉末

矿物陶瓷水泥(生料、熟料、原材料成品等；泥土、粉末、冶金、铁合金或少量稀松粉末,可以直接测量，亦可以压片测量或制成玻璃熔珠。

3.稀土

总之，由于X荧光光谱分析因其检测速度快、小巧、精准、无损等优势逐渐被众多企业所接受。