直读光谱仪选用的多见火花光源，还有小量选用电弧光源解析矿物质或超低含量合金。
传统式的火花光源选用电容电感充放电基本原理，电容电感参数确认后，激发波型固定，全部原素均选用一样的激发波型；可是不同试品和不同原素需要不同激发波型，比如激发电位高的原素需要火花型放电波型提供高的激发能量，微量分析需要电弧型放电波型改进蒸发作用，因而传统式火花光源的激发作用较弱。
直读光谱仪厂家
原子发射光谱仪的激发光源有热激发光源（如火苗）、电激发光源（如电弧和火花）、等离子激发光源（如直流等离子喷焰(DCP)、电感藕合等离子炬(ICP)和微波电感等离子炬(MIP)）、激光光源等。
新式的数字光源选用多高压电源脉冲生成技术，可完成随意激发波型，对于不同原素选用适合的激发波型，取得最好激发作用，以达到不同基体的解析需求，是传统式激发光源无可比拟的。
数字光源是目前国外直读光谱仪的主流发展趋势。它是利用数字化合成的方式直接合成任意的放电波形，它脱离了传统火花激发模块的电感电容型模拟放电方式，是直读光谱仪激发激发模块的革命性进展。
由于可以合成任意的放电波形，使得激发模块的激发过程完全实现人工操控。由于在激发电流合成关键路径弃用了温漂严重的电容和电感器件，数字化等离子体激发模块的稳定性较传统光源更加优良，进一步提高光谱仪整机的探测下限，使痕量元素的检测水平达到新的高度。
模拟光源也有自身的优点，比如技术路线成熟，电容电感等模拟器件的抗电磁干扰性较数字电路优良等等，因此在直读光谱仪上仍然有一席之地，特别是电弧类光源在矿物分析方面有独特优势。