EDX、EDS、XRF三者皆为X射线荧光光谱。
EDX指的是能量散射型X射线荧光光谱仪，也有人叫EDXRF。
EDS(Energy Dispersive Spectrometer)是能谱仪指的是是电子显微镜（扫描电镜、透射电镜）的重要附属配套仪器，结合电子显微镜，能够在1-3分钟之内对材料的微观区域的元素分布进行定性定量分析的一种仪器。
XRF（X Ray Fluorescence）XRF指的是X射线荧光光谱仪，指的是通过检测被测物不同元素所放射出的二次X射线能量、数量个波长来进行定量或者定性分析的一种仪器。
