自20世纪70年代台式能量色散X射线荧光光谱仪投放市场以来，经历了近30年的发展，台式能量色散X射线荧光光谱仪已日臻完备，无论是硬件还是软件的开发都与波长色散X射线荧光光谱仪基本同步。与早期相比，现代台式能量色散X射线荧光光谱仪已在以下几方面获得较大进展：

1.谱仪整机的一体化、小型化

传统的管激发能量色散X射线荧光光谱仪由冷却水循环系统。X射线管高压发生器和测量系统三大部分组成。现代能量色散X射线荧光光谱仪已去掉了冷却水循环系统，将X射线管高压发生器和测量系统融为一体，做到了轻便、灵活。

2.X射线管

用于管激发能量色散X射线荧光光谱仪的X射线管功率小于或近于100W， 最大X射线管电流小于1mA

3.高压发生器

谱仪的高压发生器采用高频变换高压发生器，所产生的高压大于50kV。这种高压发生器。比用于波长色散X射线荧光光谱仪的高压发生器更具有体积小重量轻、耗能低、噪音小等特点。

4.探测器

a)对于高分辨探测器，不仅限于Si(Li)探测器，现在还开发出了Ge探测器，这些半导体探测器都可在室温环境中存放，工作时采用液态氮或电致冷。

b)超薄型铍( Be)窗：Si(Li) 探测器的铍(Be)窗一般为75~125μm，大大提高了测量轻元素的灵敏度。

c)高分辨：测量MnKa 5.9keV 线的能量半高宽小于150eV。