X射线荧光分析仪，可分为波长色散型 （WDXRF）荧光光谱仪和能量色散型  （EDXRF）荧光光谱仪是同属一种，于产生信号的方法相同，最后得到的波谱也极为相似，但由于采集数据的方式不同，WDXRF和EDXRF的原理和仪器结构上有所不同，功能也有区别：

一、原理区别

      X射线荧光光谱法，使用X射线管发出的初级线束辐照样品，激发各化学元素发出二次谱线。

      WDXRF是用分光晶体将荧光光束色散后，测定各种元素的特征X射线波长和强度，从而测定各种元素的含量。

   EDXRF是借高分辨率敏感半导体检查仪器与多道分析器将未色散的X射线荧光按光子能量分离X射线光谱线，根据各元素能量的高低来测定各元素的量，由于原理的不同，所以他们的仪器结构也不同。

EDX台式X荧光光谱仪

二、结构区别

      WDXRF，一般由光源（X射线管），样品室，分光晶体和检测系统等组成。为了准确测量衍射光束与入射光束的夹角，分光晶体系安装在一个精密的测角仪上，还需要一庞大而精密并复杂的机械运动装置。由于晶体的衍射，造成强度的损失，要求作为光源的X射线管的功率要打，一般为2—3千瓦，单X射线管的效率极低，只有1%的功率转化为X射线辐射功率，大部分电能均转化而产生高温，所以X射线管需要专门的冷却装置（水冷或油冷），因此WDXRF的价格往往比EDXRF高。

      EDXRF，一般由光源（X射线管），样品室，各检测系统等组成，比WDXRF少了一个分光晶体，由于这一特点，使EDXRF具有如下的特点：

1、仪器结构简单，省略了浸提的精密运动装置，也无需精确调整。还避免了晶体衍射所造成的前度损失，光源使用的X射线管功率低，一般在100W以下，不需要昂贵的高压发生器和冷却系统，空气冷却即可，节省电力。

2、EDXRF的光源，样品，检测器彼此靠的近，X射线的利用率很高，不需要光学聚集，在累计整个光谱时，对样品位置变化不像WDXRF那样敏感，对样品形状也无特殊要求。

3、在能量色散光谱仪中，样品发出的全部特征X射线光子同时进入检测器，这样奠定了使用多道分析器和荧光同时累计和实现全部能谱（包括背景）的基础，也能清楚地表明背景和干扰线。因此，半导体检测器X射线光谱仪比晶体X射线光谱仪快而方便地完成定性分析工作。

4、EDXRF减少了化学状态引起的分析线波长的飘移影响。由于同时累积还减少了仪器的漂移影响，提高了净计算的统计精度，可迅速而方便地用各种方法处理光谱。同时累积观察和测量所有元素，而不是按特定谱线分析特定元素。因此，减少偶然错误判断某元素的可能性。

EDX手持式X荧光光谱仪

三、功能区别

   考虑到各种情况，EDXRF和WDXRF的检测限基本相同。

   但在（高能光子）范围内能量色散的分辨率好些，在长波（低能光子）范围内，波长色散的分辨率好些。

   就定性分析而言，在分析多种元素时能量色散优于单道晶体谱仪，就测量个别分析元素而言，波长色散好些。

   如果分析的元素事先不知道，用能量色散较好，而分析元素已知则用多道晶体色散仪好，对易受放射性损伤的样品，如果液体，有机物（可能发生辐射分解），玻璃品，工艺品（可能发生褪色）等，用WDXRF分析特别有利。

      WDXRF很适合动态系统的研究。如在催化，腐蚀，老化，磨损，改性和能量转换等于表面化学过程有关的研究。

      总之，EDXRFX荧光光谱仪和WDXRFX荧光光谱仪两种仪器，各有所有点和不足，它们只能互补，而不能替代。