我国X射线光谱分析的发展起步于20世纪50年代末。
中科院长春应用化学研究院所等单位先后从苏联引进原级X射线光谱仪。
中科院长春应用化学研究院所
20世纪60年代初
李安模、马光祖等人着手进行我国第一台X射线荧光光谱仪的研制。伺候，相关研究所欧洲和日本等引进商品X射线荧光光谱仪，进行大量应用研究和技术开发。
20世纪80年代
我国X射线荧光光谱分析研究非常活跃并取得长足进步，在理论研究，轻元素分析，集体软件的开发，国外交流取得巨大进步。
现在
X射线荧光光谱分析应用十分广泛，研发和应用工作正紧紧和世界先进水平同步进行。
国际上X荧光光谱分析大事记
1895年，伦琴发现X射线。
伦琴
1908年，巴克拉（C.G.Barkla）和沙特拉（Sadler）发现物质受X射线辐照后会射出和物质中组成元素相关的特征谱线。
1912年，劳厄（M.Von Loue）发现了晶体对X射线的衍射现象，证实了X射线是一种电磁波，具有波动性，并可用晶体作为X射线衍射光栅。
1913年，布拉格父子（W.L.Bragg，W.H.Bragg）建立了布拉格定律。
布拉格父子
1913年，莫塞莱（Moseley）研究了各种元素的特征谱线，发现了莫塞莱定律，奠定了X射线光谱分析的基础。
莫塞来
1928年，盖革（H.Geiger）等首次提出用充气计数管代替照相干板法来进行X射线的测量。
1948年，弗里德曼（H.Friedman）和伯克斯制出第一台商品X射线荧光光谱仪。
1966年，勃劳曼（Browman）等将发射性同位素源和Si(Li)探测器结合使用。
1969年，伯克斯（Birks）等研制出第一台能量射线荧光光谱仪。
1971年，首次报导将全反射技术应用在少量样品的痕量分析上。
1974年，首次把偏振技术应用于能量色散X射线荧光分析。
布拉格定律： 布拉格定律（Bragg’s law）是反映晶体衍射基本关系的理论推导定律。1912年英国物理学家布拉格父子（W.L.Bragg和W.H.Bragg）推导出了形式简单，能够说明晶体衍射基本关系的布拉格定律。此定律是波长色散型X荧光仪的分光原理，使不同元素不同波长的特征X荧光完全分开，使谱线处理工作变得非常简单，降低了仪器检出限。 |
莫塞莱定律： 莫塞莱定律（Moseley’s Law）,是反映各元素X射线特征光谱规律的实验定律。1913年H.G.J莫塞莱研究从铝到金的38种元素的X射线特征光谱K和L线，得出谱线频率的平方根与元素在周期表中排列的序号成线性关系。 莫塞莱认识到这些X射线特征光谱室由于内层电子的跃迁产生的，表明X射线的特征光谱与原子序数是一一对应的，使X荧光分析技术成为定性分析方法中最可靠的方法之一。 |
