XRF荧光光谱仪有两种分别是波长色散型X荧光光谱仪和能量色散型X荧光光谱仪。我们这篇文章说的X荧光光谱仪就是指波长色散的仪器。
1、XRF荧光光谱仪的优势
(1) 制样简单。基本上都是物理制样。试样经过简单的破碎、研磨成粉末压片或熔融制成。
(2) 分析范围广。理论上从四号元素Be到92号元素铀均可进行分析。
(3) 测量范围宽。从0.001%到100%均可进行分析。
X射线荧光原理图
2、XRF荧光光谱仪的劣势
(1) 各公司宣传XRF荧光光谱仪的分析范围从PPM到100%。事实上荧光光谱仪的分析范围并没有那么广，受所分析试样的基体影响很大。如果分析碳氢化合物中的元素，检出限可以达到到PPM，如石油中硫S的分析，地质样品中则只能达到10PPM，而在铅合金中检出限要50PPM以上。XRF无法进行纯金属材料分析，因为纯金属材料中各元素的含量均很低。
(2) XRF不能分析不锈钢中的五害元素。传统上，不锈钢生产企业通常用XRF荧光进行过程控制分析，但是目前不锈钢生产企业就只能用直读光谱仪来测量微量元素了，因为当今材料要求五害元素的含量比国家标准要低得多。
(3)XRF对标样的依赖性很强。试样的颗粒度、组成、结构差异等均会对分析结果产生很大影响。