原理区别：

X射线荧光光谱法，是用X射线管发出的初级线束辐照样品，激发各化学元素发出二次谱线（X-荧光）。
波长色散型荧光光谱仪（WD-XRF）是用分光近体将荧光光束色散后，测定各种元素的特征X射线波长和强度，从而测定各种元素的含量。
能量色散型荧光光谱仪（ED-XRF）是借组高分辨率敏感半导体检查仪器与多道分析器将未色散的X射线荧光按光子能量分离X色线光谱线，根据各元素能量的高低来测定各元素的量，

结构区别：

波长色散型荧光光谱仪（WD-XRF），一般由光源（X-射线管），样品室，分光晶体和检测系统等组成。为了准且测量衍射光束与入射光束的夹角，分光晶体系安装在一个精密的测角仪上，还需要一庞大而精密并复杂的机械运动装置。由于晶体的衍射，造成强度的损失，要求作为光源的X射线管的功率要大，一般为2-3千瓦，单X射线管的效率极低，只有1%的功率转化为X射线辐射功率，大部分电能均转化为而能产生高温，所以X射线管需要专门的冷却装置（水冷或油冷）。

功能区别：

考虑到各种情况，能量色散型荧光光谱仪和波长色散型荧光光谱仪的检测限基本相同。但在（高能光子）范围内能量色散的分辨率好些，在长波（低能光子）范围内，波长色散的分辨率好些。就定性分析而言，在分析多种元素时能量色散优于单道晶体谱仪。就测量个别分析元素而言，波长色散好些。如果分析的元素事先不知道，用能量色散较好，而分析元素已知则用多道晶体色散仪好。对易受放射性损伤的样品，如果液体，有机物（可能发生辐射分解），玻璃品，工艺品（可能发生褪色）等，用能量色散型荧光光谱仪分析特别有利。能量色散型荧光光谱仪很适合动态系统的研究。如在催化，腐蚀，老化，磨损，改性和能量转换等与表面化学过程有关的研究。

EDXRF能量色散型荧光光谱仪和WDXRF波长色散型荧光光谱仪这两种仪器，各有所长，但它们只能互补而不能互相代替。