近年来，X荧光光谱仪分析在各行业应用范围不断拓展，已成为一种广泛应用于冶金、地质、有色、建材、商检、环保、卫生等各个领域，特别是在RoHS检测领域应用得zui多也zui广泛的一种仪器。大多数分析元素均可用其进行分析，X荧光光谱仪可分析固体、粉末、熔珠、液体等样品，分析范围非常广泛，以创想仪器EDX-6000型以及EDX-9000型来说，前者分析范围可S（16）到U（92）之间的所有元素，后者可分析Na（11）到U(92)之间所有元素。并且具有分析速度快、测量范围宽、干扰小的特点。X荧光光谱仪根据各元素的特征X射线的强度，也可以获得各元素的含量信息。
关于X荧光光谱仪的优缺点
1、优点
1) 适用范围广。X射线荧光光谱跟样品的化学结合状态无关，而且跟固体、粉末、液体及晶质、非晶质等物质的状态也基本上没有关系。（气体密封在容器内也可分析）但是在高分辨率的精密测定中却可看到有波长变化等现象。特别是在超软X射线范围内，这种效应更为显著。波长变化用于化学位的测定 。
2) X射线荧光分析是一种物理分析方法，所以对在化学性质上属同一族的元素也能进行分析。
3) 制样简单，固体、粉末、液体样品等都可以进行分析。
4) 分析精密度高。
5) 非破坏分析，重现性好。在测定中不会引起化学状态的改变，也不会出现试样飞散现象。同一试样可反复多次测量，结果重现性好。
6) 分析时间短。测定用时与测定精密度有关，但一般都很短，2～5分钟就可以测完样品中的全部待测元素。
2、缺点
1）对轻元素的灵敏度要低一些。
2）难于作分析，故定量分析需要标样。
3）容易受相互元素干扰和叠加峰影响。