光谱分析仪器是用来分析检测物质元素组成的一种重要仪器，有直读光谱仪，X荧光光谱仪，其实本质就是分析光的组成来判定元素组成的一种方法，作为衡量检测效果的度量单位，精密度又是一种客观存在。

精密度是指在规定条件下，独立试验结果间的一致性。表征测定过程中随机误差的大小。 精密度的大小，极差、平均偏差、相对平均偏差、标准偏差和相对标准偏差都可用来表示精密度大小，较常用的是标准偏差。说明精密度越高，在统计学上为更准确地衡量精密度，一般用标准（偏）差来表示。 精密度是表示试验的重复性与再现性，高的精密度是保证获得良好准确度的先决条件，一般说来，精密度不高，就不可能有良好的准确度。反之，精密度高，准确度不一定好，这种情况表明测定中随机误差小，但系统误差较大。

光谱分析仪的精密度

平行性

平行性指在同一实验室中，当分析人员、分析设备和分析时间都相同时，用同一分析方法对同一样品进行双份或多份平行样测定结果之间的符合程度。

重复性

重复性指在同一实验室内，当分析人员、分析设备和分析时间三因素中至少有一项不相同时，用同一分析方法对同一样品进行的两次或两次以上独立测定结果之间的符合程度。

再现性

在不同的实验室，由不同操作者使用不同的设备，按相同的试验方法，对同一试样（或元件）相互独立进行的试验结果间的一致性。 试验结果再现性和重复性的区别是显而易见的。虽然都是指同一试样的试验结果之间的一致性，但其前提不同。重复性是在试验条件保持不变的情况下，连续多次试验结果之间的一致性；而再现性则是指在试验条件改变了的情况下，试验结果之间的一致性。 再现性又称为复现性、重现性，用再现性标准差来表示。再现性标准差有时也称为组间标准差。在给出再现性时，应详细地说明试验条件改变的情况，包括：试验人员、试验仪器、地点、使用条件及时间。这些内容可以改变其中一项、多项或全部。

期间测量精密度

期间测量精密度，简称期间精密度，指一段时期内在期间精密度条件下的精密度，类似于日常工作中常说的“批间精密度”。 期间精密度条件指相同测量程序、相同地点，在一个长时期内重复测量同一被测对象的一组测量条件。在这一段时间内可以对仪器进行重新校准或更换操作者等。