X荧光光谱仪可分为三类，一类是偏振式能量色散X荧光光谱仪ED(P)-XRF、波长色散型(WD-XRF)X射线荧光光谱仪与能量色散型(ED-XRF)X射线荧光光谱仪三种，他们无论是在原理上还是在仪器结构或者是功能上都有所不同。下面我们就三类仪器的区别作简单对比。
1、原理区别
X-射线荧光光谱法，是用X-射线管发出的初级线束辐照样品，激发各化学元素发出二次谱线(X-荧光)。波长色散型荧光光谱仪(WD-XRF)是用X射线直接照射样品发射X荧光，分光晶体将荧光光束色散后，测定各种元素的特征X-射线波长和强度，从而测定各种元素的含量;而普通能量色散型荧光光谱仪(ED-XRF)是通过滤光片得到背景相对较低的X射线，照射样品发射X荧光，X荧光借助高分辨率敏感半导体检测器与多道分析器将未色散的X-射线按光子能量进行色散，根据各元素特征能量的强度高低来测定各元素的量;而偏振式能量色散X荧光光谱仪ED(P)-XRF是采用偏振次级靶，得到单色的X射线照射样品，再X荧光借助高分辨率敏感半导体检测器与多道分析器将未色散的X-射线按光子能量进行色散，根据各元素特征能量的强度高低来测定各元素的量，这就大大提高了仪器的信噪比，提高了能谱仪分析轻元素的能力。
2、结构和功能方面的区别
波长色散型荧光光谱仪(WD-XRF)，一般由光源(X-射线管)、样品室、分光晶体和检测系统等组成。为了准确测量衍射光束与入射光束的夹角，分光晶体是安装在一个精密的测角仪上，还需要一庞大而精密并复杂的机械运动装置。由于晶体的衍射，造成强度的损失，需要作为光源的X射线管的功率要大，一般为2～3千瓦。但X射线管的效率极低，只有1%的电功率转化为X射线辐射功率，大部分电能均转化为热能产生高温，所以X射线管需要专门的冷却装置(水冷或油冷)，这就使得仪器结构比较复杂，硬件成本高，因此波谱仪的价格比能谱仪要高的多。
普通能量色散型X荧光光谱仪(ED-XRF)，一般由光源(X-射线管)、滤光片、样品室和检测系统等组成，与波长色散型X荧光光谱仪(WD-XRF)的区别在于它不用分光晶体，机构比较简单，价位比较低，但轻元素的检出限较高。
偏振式能量色散X荧光光谱仪ED(P)-XRF，不采用滤光片，而采用偏振次级靶，其它与普通能量色散X荧光光谱仪(ED-XRF)相似，结构也比较简单，价位也远低于波长色散型荧光光谱仪(WD-XRF)，但在轻元素的检出限方面接近波长色散型荧光光谱仪(WD-XRF)。
三、WD-XRF与ED-XRF的简明比较
| 项目 | 偏振式能量色散X荧光 | 波长色散型X荧光 | 普通能量色散型X荧光 |
| 原理 | X荧光经次级偏振靶使X射线产生偏振（提高信噪比）后，进入检测器，经电子学系统处理得到不同元素（不同能量）的X荧光能谱 | X荧光经晶体分光，在不同衍射角测量不同元素的特征线 | X荧光直接进入检测器，经电子学系统处理得到不同元素（不同能量）的X荧光能谱 |
| 结构 | 无扫描机构，只用一个检测器和多道脉冲分析器，结构简单得多，无转动件，可靠性高 | 为满足全波段需要，配置多块晶体，根据单道扫描和多道同时测定的需要，设置扫描机构和若干固定通道 | 无扫描机构，只用一个检测器和多道脉冲分析器，结构简单得多，无转动件，可靠性高 |
| X光管 | 功率低，不需冷却水，X光管寿命长 | 高功率，要高容量冷却系统，X光管寿命短 | 功率低，不需冷却水，X光管寿命长 |
| 检测器 | SDD | 正比计数器，和λ、晶体、检测器有关 | Si(pin) |
| 灵敏度 | ug/g级 | Ug/g级 | 轻基体ug/g级，其它10～102ug/g级 |
| 准确度 | 取决于标样 | 取决于标样 | 取决于标样 |
| 精密度 | 好 | 很好 | 低浓度时不如WD |
| 系统稳定性 | 好，工作曲线可长时间使用 | 需作周期性漂移校正，定期作工作曲线 | 好，工作曲线可长时间使用 |
| 方便性 | 好 | 一般 | 好 |
| 分析速度 | 快 | 单道慢，多道快 | 快 |
| 人员要求 | 一般 | 较高 | 一般 |
| 样品表面 | 要求不高 | 要求平坦 | 要求不高 |
| 价格 | ￥60～100万/台 | ￥120～250万/台（其中单道￥120～180万/台） | ￥30～70万/台 |
| 测定元素范围 | 11Na～92U | 5B～92U | 11Na～92U |
3.价格方面的对比
波长色散价格X荧光谱仪又分为单道和多道两种，单道X荧光一般在120-150万元，而多道X荧光一般在180-250万元。
能量色散X荧光光谱仪一般分滤光片选择激发性和次级靶选择激发型，滤光片型仪器受滤光片位置和种类的限制，应用范围有很大的局限性，况且这类仪器一般采用Si-pin探测器分辨率也不够高，不适合复杂基体样品的分析;次级靶选择激发型仪器，由于一个次级靶可以有效元素周期表中元素范围很宽，且这类仪器一般SDD探测器，具有比较高的分辨率，适合于复杂样品的分析，拥有这样仪器的厂家只有德国斯派克和荷兰的帕纳克(原来的飞利浦)，但帕纳克仪器加110KV的的高压，注重超重元素的分析，而轻元素(原子序数比较小的元素)的分析不是他们的强项；斯派克的仪器加50KV的高压，关键是采用了HOPQ(高温热解石墨)靶，大大提高了轻元素的信噪比，可以有效的分析轻元素，效果接近波长色散X荧光。