首先，工作原理不同。
光电直读光谱仪是样品在激发台被激发光源激发后，通过聚光镜及直线电机产生各个元素的特征光谱，各种元素的光谱谱线通过光栅分光自动排列出各元素谱线，各种元素谱线通过出射狭缝照射在光电倍增管上，通过光电倍增管转换成光电流，元素光谱强度与光电流强度成正比例关系，即光谱越强光电流越大，所测元素的光谱谱线强度与所测元素的含量有一定的函数关系。再由光电流大小通过数据处理得出所测元素含量；光电倍增管信号的测量、数字化和存储；通讯，接收计算机命令等。
X—荧光光谱分析仪工作原理是利用高能量的×光，打击试样，使试样中被测元素的内层电子被激发打走，次内层电子回落到内层，同时产生一个光子，这个光子具有特定的频率，与其他原子同样条件下产生的光子不同，仪器再经过光栅色散，把这一种元素产生的单色光分离出来，再利用一个光电管，把这一种光信号转变为电信号，这个电信号与试样中被测物质的含量成一定的比例关系。但是这样并不能获得试样中被测物质的含量,还必须与标准试样在同样条件下获得的电信号进行比较才能获得试样中被测物质的百分含量。
其次，分析特点不同。
x——荧光光谱分析仪的特点是，仪器由计算机控制，自动化水平高，分析速度快，它不需要象火花(光电)直读光谱那样要求试样具有导电性，所以可以完成非金属试样的分析，它可以同时完成多个被测元素或者被测组分的百分含量，如Mg、Al、Zn、Mn、Si、Cu、Ni、Fe、Be、Sr、MgO、Al2O3、Sio2、Cao及稀土等可以同时完成。
一般多数用户的×—荧光光谱分析仪仅专门用来分析精矿粉、石灰、青石、白云石、炉渣、熔剂等不导电的试样。同时它也可以进行金属材料等导电试样的分析。其他特点与直读光谱相同。X射线荧光直读光谱仪可以分析粉末样品、熔融样品、液体样品、固体样品等，非金属或金属都可以分析;
火花直读光谱仪只能分析固体样品，而且要求样品是导电介质，简单的说就是分析金属固体样品中的金属或者非金属元素。
主要用途:仪器是较新型×射线荧光光谱仪，具有重现性好，测量速度快，灵敏度高的特点。能分析F(9)~U(92)之间所有元素。样品可以是固体、粉末、熔融片，液体等，分析对象适用于炼钢、有色金属、水泥、陶瓷、石油、玻璃等行业样品。无标半定量方法可以对各种形状样品定性分析，并能给出半定量结果，结果准确度对某些样品可以接近定量水平，分析时间短。×荧光分析快速，某些样品当天就可以得到分析结果。适合课题研究和生产监控。
火花直读及ICP用来做纯金属,火花直读对样品要求比ICP要求高,×荧光用来做合金,但也可以做纯金属,但他的效率就不及火花直读了.但在做纯金属主量元素分析时,火花直读和ICP是间接分析,而×荧光可以直接分析主量元素.主要用途:仪器是较新型×射线荧光光谱仪，具有重现性好，测量速度快，灵敏度高的特点。能分析F(9)~U(92)之间所有元素。样品可以是固体、粉末、熔融片，液体等，分析对象适用于炼钢、有色金属、水泥、陶瓷、石油、玻璃等行业样品。无标半定量方法可以对各种形状样品定性分析，并能给出半定量结果，结果准确度对某些样品可以接近定量水平，分析时间短。
×荧光分析快速，某些样品当天就可以得到分析结果。适合课题研究和生产监控。火花直读及ICP用来做纯金属,火花直读对样品要求比ICP要求高,×荧光用来做合金,但也可以做纯金属,但他的效率就不及火花直读了.但在做纯金属主量元素分析时,火花直读和ICP是间接分析,而×荧光可以直接分析主量元素.精度(分析正确度)除了ICP以外，直读光谱和X荧光都依靠标准样品的质量。如果，不能准备完全的标准样品，不可能得到标准偏差。标准样品是当然一定要没有偏析，正确的标准值。除了ICP以外，直读光谱和X荧光都依靠标准样品的质量。如果，不能准备完全的标准样品，不可能得到标准偏差。