利用原级X射线光子或其他微观粒子激发待测物质中的原子，使其产生荧光（次级X射线），进而开展物质成分分析与化学态研究的方法，便是X射线荧光光谱分析法。在成分分析领域，它已成为现代常规分析的重要手段之一。

荧光X射线分析仪依据性能和应用范围，有着不同的分类。实验室中常用的是X射线荧光光谱仪和能谱仪，它们能提供精准详细的分析数据；小型便携式X射线荧光分析仪便于携带，适合野外和现场分析；工业上也有专门适配的仪器，满足不同场景需求。

在定性和半定量分析方面，该方法优势显著。其谱线简单，分析过程不破坏样品，基体的吸收和增强效应较易克服，操作简便且测定迅速。野外和现场分析时，便携式X射线荧光分析仪就能发挥作用，快速获取物质的主次成分信息。若在室内使用X射线能谱仪，还能一次在荧光屏上显示全谱，让物质成分一目了然。

定量分析分为实验校正法和数学校正法，二者都基于分析元素的X射线荧光强度与含量存在定量关系。70年代前，数学校正法发展较慢，主要应用于组成简单的物料，实验校正法更为常用，像外标法、内标法等多种方法各有适用场景。70年代后，随着X射线荧光分析理论和方法的深入发展，以及仪器自动化和计算机化程度的提高，数学校正法得到广泛应用，包括经验系数法、基本参数法等。这些方法能有效计算和校正基体的吸收和增强效应对分析结果的影响，还能处理谱线干扰和计数死时间问题。除基本参数法外，其他方法大多迅速方便且准确度高，在众多领域中，无论是少量还是常量元素分析，结果都能与经典化学分析法相媲美，因此和原子吸收光谱法、等离子体光谱分析法一起，成为仪器分析的主要手段。

X射线荧光光谱分析法凭借多样仪器类型、独特分析优势以及不断发展的定量方法，在物质分析领域站稳脚跟，与多种经典方法并驾齐驱，未来必将持续绽放光彩，助力科研与生产迈向新高度。