X射线荧光分析是一种物理分析方法，X射线荧光光谱仪是由激发系统，分光系统，探测系统和仪器控制和数据处理系统这几个主要部分构成。

激发系统主要是X射线管，可以发出原级X射线（一次X射线），用于照射样品激发荧光X射线。分光系统是对来自样品待测元素发出的特征荧光X射线进行分辨（主要为分光晶体）；探测系统用于对样品待测元素的特征荧光X射线进行强度探测；仪器控制和数据处理系统用于处理探测器信号，给出分析结果。

X射线荧光分析的原理

下面一起和小编来学习下X射线荧光光谱仪的测试步骤吧。

第一、选择分析方法与制样方法。分析方法有很多，一般有基本参数法、半基本参数法、经验系数法等。制样方法包括抛光法、压片法、滤纸片法和熔片法，我们一般常用粉末压片法制样，采用基本参数法测试。

第二、将制备好的样片装进样品杯，放入样品交换器中，自动进样至样品室，X射线管发出原级X射线照射样品，激发出待测元素的荧光X射线。

第三、样品辐射出的荧光X射线通过分光晶体，将X射线荧光光谱色散成孤立的单色分析线，由探测器测量各谱线的强度，根据选用的分析方法换算成元素浓度，得到样品中待测元素含量。