氩气是一种无色、无味的单原子气体，密度是空气的1.4倍，是氦气的10倍。氩气是一种惰性气体，在常温下与其他物质均不起化学反应，在高温下也不溶于液态金属中。氩气在直读光谱分析仪对物质进行分析检测的过程中起着重要的作用。氩气的纯度不够会加大物质检测结果的误差，导致测量的结果不可用。
一般光谱激发时由于瞬间电压高、电流大、激发温度也会很高，氩气可以很好的对钨电极起保护作用，一般的氩气纯度不够，不能很好的保护钨电极，导致钨电极损伤，而且一些高溶点的物质如硅等就会激发不充分，在金属表面就会产生有很多很多白点，造成检测数据不准。
高纯氩作为火花室保护气的主体，其纯度高才会形成需要的“聚能放电”否则就是所谓的“扩散放电”引起不良的激发。样品的组织结构越复杂，对氩气的纯度要求就越严格。
直读光谱仪使用的氩气纯度要求≥99.999%，如果纯度达不到，则会导致校正系数超出要求范围，标准化系数偏高。或者激发光源不激发及跳闸。
氩气不纯，对光路尤其是透镜的损坏较大，导致透镜污染，影响直读光谱仪分析谱线；再者激发时声音表现无力，激发点不能充分燃烧，影响分析数据，使数据偏离实际值，导致分析不准确。