对于真空度为10—3mm／Hg，要有专用真空泵设备；为了防止油蒸汽污染分光仪的内部，影响光学零件的透过率，真空泵设在分光仪的底部。采用防震措施，使整个分光仪的光路不受震动的影响。

     真空室内与真空外部接触的运动零件(如描迹狭缝，石英窗，透镜)要尽量减少，并需要密封材料，以免在抽真空时发生漏气，影响真空度。

     真空直读光谱仪的结构要比非真空直读光谱光复杂，各种光学元件置于真空分光室中这种壳体必须保证在真空度的作用下不变形，相对位置不发生变化；尤其是分光室的结构必须考虑受力均匀，变形小。

    真空光电直读光谱仪主要是用来研究真空紫外光谱区入<190nm的原子光谱，对钢铁分析来讲，主要是解决碳、硫、磷、砷、硼等元素分析。由于空气严重影响远紫外光谱的吸收，所以必须把分光室内抽成真空。

    由于空气成分主要是由氮、氧、水蒸汽和各种惰性气体组成，其中以前三者含量最高，空气对远紫外光谱的吸收是很强烈的，尤其以氧气的吸收最为严重。

    氧气在远紫外光谱区存在着两个吸收区，第一个吸收区是从195nm开始直到176nm左右。在160—130nm的光谱区氧气基本上是透明的。第二个吸收区是110—130nm或者更短波长，该吸收区的吸收峰处在145nm附近。在吸收峰附近，14微米厚的氧气层在常温常压下能吸收进入其中的一半辐射强度。