在火花直读光谱仪设备体系当中,探测器是实现光信号向电信号转换的核心部件,直接决定仪器的分析精度、检测效率与应用适配能力,CCD与CMOS两类固态探测器凭借全谱采集的特性,逐步在诸多场景替代传统光电倍增管方案,二者依托不同的芯片架构,在直读光谱的实际应用中呈现出差异化的性能表现,也让很多设备选型阶段的使用者陷入选择纠结。CCD电荷耦合器件发展时间较早,技术沉淀深厚,长期以来是全谱直读光谱仪的主流配置,而CMOS互补金属氧化物半导体探测器伴随半导体工艺迭代快速崛起,成为近些年直读光谱设备升级的重要方向,两种技术没有绝对的优劣之分,更多是架构带来的性能取舍,结合检测场景才能发挥出各自的实际价值。
从信号读取的底层架构来看,CCD采用电荷顺序转移的工作模式,感光像元捕获光子生成电荷之后,电荷需要逐行逐列依次转移,经由统一的放大器完成信号输出,整套读取流程依靠少量外围电路完成信号放大,像素信号经过同一套放大链路处理,像素之间的信号一致性表现较好,读出噪声可以控制在较低水平,在微弱光谱信号采集上具备天然优势。但这种串行转移的读取方式也带来一定局限,完整光谱谱图读出需要消耗更多时间,面对高频次火花激发的动态信号时,电荷转移过程中容易出现溢出现象,也就是常说的拖尾效应,强光谱线周边的弱信号会受到一定干扰,同时芯片本身功能较为单一,放大器、模数转换等单元都需要依靠外部电路板搭建,整套系统驱动电路复杂,设备整体功耗会有所增加,芯片制造工艺门槛较高,整机成本也会随之抬升。
CMOS探测器则采用像元级集成设计,每一个感光单元附近都集成独立的放大电路,搭配多通道并行读出机制,不需要电荷跨像素转移,既可以完成全谱完整读取,也能够针对性选取目标谱线区域做局部信号采集,读取效率得到明显提升,非常适配炉前快速检测、大批量样品筛查这类对分析速度有较高要求的工业场景,能够匹配火花光源高频激发的信号输出,减少信号丢失带来的数据偏差。高度集成的芯片架构将放大、模数转换模块内置在传感器芯片内部,外围配套电路可以大幅简化,有利于光谱仪光室结构小型化,设备整体功耗得到有效降低,依托成熟通用半导体工艺,探测器芯片的量产成本具备一定优势,也给仪器的轻量化、智能化升级预留充足空间,同时并行读取模式可以规避电荷转移带来的溢出现象,强光谱线与邻近微弱元素谱线能够同时采集,减少光谱拖尾带来的分析干扰。不过早期普通CMOS产品,受限于像素内置放大器的个体差异,会引入固定模式噪声,在极弱光信号检测场景,信噪比表现和传统CCD还存在一定差距,像素之间响应均匀性也有提升空间,这也是过去很多高精度分析场景优先选用CCD的关键原因。

CMOS探测器分析图
随着背照式科学级CMOS工艺持续迭代,两类探测器之间的性能差距正在不断收窄,新一代CMOS在量子效率、动态范围指标上已经可以向传统CCD靠拢,部分产品在大动态信号捕捉上还展现出自身特色,不过在极低光强、长积分的苛刻检测条件下,成熟制冷型CCD依旧能够维持稳定的低噪声输出,像素响应均匀度依旧具备不错的竞争力,适合样品基体复杂、痕量元素占比低,追求稳定重复检测结果的实验室分析工况。放到直读光谱仪实际落地层面,CCD光谱仪凭借长期市场应用积累,配套算法、校准体系十分完善,面对多种金属基体的常量、痕量元素分析,数据稳定性经过大量项目验证,仪器维护逻辑行业内也已经形成成熟经验,适合追求稳妥可靠、样品类型复杂多变的检测实验室使用。而CMOS探测器加持的直读光谱仪,更快的采集速度能够缩短单样检测周期,面对工厂生产线上大批量样品快速复检,可有效提升整体检测通量,芯片集成化带来的硬件简化,也有助于降低仪器后期电路故障概率,在冶金炉前质控、来料快速筛查等工业现场应用越来越广泛,同时全谱采集的灵活特性,后续拓展分析基体、新增待测元素时,软件层面调整即可实现,硬件改动较少,设备拓展灵活性较强。

CMOS探测器分析图
在设备选型过程中,不能简单判定某一类探测器全面占优,CCD的核心价值集中在低噪声、像素响应均匀、复杂基体下痕量检测的稳定输出,CMOS的优势更多体现在读取速率、集成度、功耗与拓展能力,部分场景当中二者性能已经出现重叠。如果实验室以科研检测、低含量元素精准分析为主,样品检测频次适中,CCD方案可以给到稳定可靠的数据支撑;如果偏向工业现场高频次检测,追求检测效率,同时希望仪器具备较好的升级拓展能力,CMOS探测器的直读光谱仪会更加适配。伴随半导体技术持续向前,两类探测器都还在持续迭代优化,性能边界不断拓宽,使用者更需要结合自身样品类型、检测指标、检测通量以及预算条件综合权衡,依托探测器本身的技术特点匹配实际业务需求,才可以充分释放直读光谱仪的分析能力,保障金属材料成分检测数据的可靠有效。