直读光谱分析仪的原理就是通过测量样品在激发状态下，对各种元素的特征光谱的强度进行分析，以此来确定样品中元素的百分比含量。现在市场上的光谱仪一般由以下几大基础模块系统组成。

直读光谱分析仪分析流程图​

1.激发光源系统：样品在高温状态下，由固态直接气化，把蒸发出来的元素的原子进行激发，使其产生特征波长。

2.供氩系统：包含氩气火花架和供氩控制器组成。控制器的作用是使样品在充满氩气的气氛下激发，氩气火花架的作用是用火花光源激发样品产生发射光谱，并透射到入射狭缝，让光学系统进行光谱分析。

3.光学系统：由聚光镜、入射狭缝、凹面光栅、出射狭缝组成。主要作用是把光源激元素原子发出来的复合光进行处理，使其成为各种不同波长的光（一般这个过程成为色散或分光），从而形成光谱。

4.测控系统：光谱仪的测控系统由测量装置和控制装置组成。主要用来控制整个仪器的正常运行。先控制火花光源激发样品，并产生各个元素的特征线谱，然后将线谱光强信号转换成数字信号，以为计算机来计算各个元素的光强比值。

5.数据处理系统：包含计算机、液晶显示屏、键盘、鼠标和打印机。这个系统与光谱仪连城一体，通过对电脑收到的各个通道的光强数字数据，进行算法运算，得到样品中各种元素的准确含量百分比。