一、 台式X射线荧光光谱仪
早期的台式X荧光光谱仪使用液氮（LN）致冷探测器Si（Li） LN，每次使用要消耗液氮，也不方便。电致冷硅漂探测器Si PIN出现后，就成为侧RoHS光谱仪探测器的主流。液氮致冷灵敏度较容易达到要求，成本比电致冷的稍微低点，所以现在个别品牌还有液氮的。但现有的电致型都能达到RoHS要求，且有的品牌用Si（Li）PCD电致冷探测器几乎达到的ppb级水平。实际上，在有RoHS之前早就有X射线荧光光谱仪，测RoHS的要求相对来说要求并不太高，所以就派上用场了。
以上两种探测器对测轻元素的灵敏度都不理想，出现了SDD电致冷探测器，提高了对轻金属元素的灵敏度，还能测硅等非金属元素，但价格相对来说又贵了许多。
X射线荧光光谱仪有多种，主要以能量色散X射线荧光光谱仪和波长色散X射线荧光光谱仪为主。二者有以下区别：
1.能量色散X荧光光谱仪是将X射线激发被测所有元素的荧光简单过滤后，全部进到检测器中，利用仪器和软件来分出其中的光谱。如测的为元素周期表中相邻的两个元素，会因光谱重叠而产生测量误差。硬件决定了之后，仪器水平的高低，往往就在这里。
1． 能量色散X荧光光谱仪
能量色散型仪器最大的优点是不破坏被测的材料或产品，也不需要专业人员操作，缺点是对铬和溴是总量测定（一般不影响使用，因为很多情况可以判定，如测铬总量超标，常可知是不是六价铬超标，特别是溴，如被作为阻燃剂加入，不管是那种溴，总量超标就不合格）。
进口或国产的各种能量色散X射线荧光光谱仪技术水平虽有差别，但已够应对RoHS检测，用户应根据自己的能力来选购国产或进口的。国产的EDX-6000能量色散X射线荧光光谱仪也能满足RoHS的检测。
2．波长色散X荧光光谱仪
波长色散X荧光光谱仪是因其激发出的荧光足够强，进到仪器中用来分析的光谱是单一元素（“过滤”了不需测的元素），不含其它元素的光谱，所以测量数据很准确。 此种仪器的灵敏度比能量色散的高一个数量级，也就是说，所测的数据并不存在“灰色地域”，不存在测定后还需拿到检测机构复检。但仪器的价格比能量色散的贵很多， 特别是进口的都在百万元以上.仪器操作和能量色散一样，不需要专业人员。
国产台式波长色散荧光光谱仪。价格比进口的能量色散型的还便宜，使用寿命也比能量色散的长一倍（主要指探测器，能量型的一般为5年，波长型的一般为10年）。
波长型最大优点是用在原材料厂上，其测定的数据准确，给生产厂以确信的合格材料。缺点是，波长法需将被测材料粉碎压制成样本后测才准确。所以，用在材料厂最适合。如不制成样本（非破坏），会因材料表面形状不同而产生不同误差。