首先来说X 荧光光谱分析法，简称：X荧光光谱法，它是一种原子发射方法，类似于光电发射光谱 (OES)、ICP 和中子活化分析（伽马光谱）。此类方法可以测量由样品中的带电原子发出的“光线”（此情况下为 X 射线）的波长和强度。 

  在X荧光光谱仪中，来自X 射线光管主 X 射线光束的辐照会使荧光 X 射线的辐射呈现出样品中所存在元素的分散能量特征。

  X荧光光谱仪便是采用X射线荧光分析法工作原理并具备高精度和准确性以及简便、快速的样品制备等优点。

   它可以在要求实现高处理量的工业环境下自动完成使用准备，并且提供定性和定量的样品相关信息。 这种定性和定量信息的轻松组合还使快速筛选（半定量）分析成为可能。

X射线荧光光谱管

       X荧光光谱仪其工作原理是X射线管通过产生入射X射线（一次X射线），来激发被测样品。 受激发的样品中的每一种元素会放射出二次X射线（又叫X荧光），并且不同的元素所放射出的二次X射线具有特定的能量特性或波长特性。探测系统测量这些放射出来的二次X射线的能量及数量或者波长。然后，仪器软件将探测系统所收集到的信息转换成样品中各种元素的种类及含量。 元素的原子受到高能辐射激发而引起内层电子的跃迁，同时发射出具有一定特殊性波长的X射线，

       因此,只要测出荧光X射线的波长或者能量,就可以知道元素的种类，这就是X 荧光光谱仪定性分析的基础。此外,荧光X射线的强度与相应元素的含量有一定的关系，据此，可以进行元素定量分析。

       由以上基础延伸出的X荧光光谱仪主要由激发源（X射线管）和探测系统构成。用X射线照射试样时，试样可以被激发出各种波长的荧光X射线，需要把混合的X射线按波长（或能量）分开，分别测量不同波长（或能量）的X射线的强度，以进行定性和定量分析，为此使用的仪器叫X荧光光谱仪。

      由于X荧光具有一定波长，同时又有一定能量。X射线管的靶材和管工作电压决定了能有效激发受激元素的那部分一次X射线的强度。管工作电压升高，短波长一次X射线比例增加，故产生的荧光X射线的强度也增强。但并不是说管工作电压越高越好，因为入射X射线的荧光激发效率与其波长有关，越靠近被测元素吸收限波长，激发效率越高。