XRF是x荧光光谱仪，（X－ray fluorescence analysis)主要用于元素的定性、定量分析的，一般测定原子序数小于Na的元素，定量测定的浓度范围是常量、微量、痕量。XRD是x射线衍射光谱，（X－ray diffraction analysis)是用于测定晶体的结构的。

X射线是原子内层电子在高速运动电子的轰击下跃迁而产生的光辐射，主要有连续X射线和特征X射线两种。晶体可被用作X光的光栅，这些很大数目的粒子（原子、离子或分子）所产生的相干散射将会发生光的干涉作用，从而使得散射的X射线的强度增强或减弱。由于大量粒子散射波的

叠加，互相干涉而产生最大强度的光束称为X射线的衍射线。

应用已知波长的X射线来测量θ角，从而计算出晶面间距d，这是用于X射线结构分析；另一个是应用已知d的晶体来测量θ角，从而计算出特征X射线的波长，进而可在已有资料查出试样中所含的元素。

入射X射线与原子的核外电子发生非弹性碰撞时，一部分能量转移给电子，使它脱离原子成为反冲电子，而散射光子的能量和运动方向则发生变化。

XRF荧光光谱仪原理则是以莫斯莱定律(1/λ)1/2=k(Z-S)，k,S是与线性有关的常数，因此，得出不同元素具有不同的X射线（即特征线）为基础对元素定性、定量分析的。  XRD原理是以X射线的相干散射为基础，以布拉格公式2d sinθ=nλ、晶体理论、倒易点阵厄瓦尔德图解为主要原理的；

总结，XRF荧光光谱仪和XRD衍射光谱仪是以两种不同的分析原理为基础的光谱分析仪器，两种仪器的分析的领域也不相同。