等离子体原子发射光谱仪工作原理是：待测试样经喷雾器形成气溶胶进入石英炬管等离子体中心通道，经过光源加热激发所辐射出光，经光栅衍射分光，通过步进电机转动光栅，将元素的特征谱线准确定位于出口狭缝处，光电倍增管将该谱线光强转变为光电流，再经电路处理，由计算机进行数据处理来确定元素的含量。原子发射光谱为线光谱，根据谱线的波长和强度，可以进行定性和定量分析。
等离子原子发射光谱仪
等离子体原子发射光谱仪的构成：等离子体原子发射光谱仪是由发由激发光源、分光系统和检测系统组成。
激发光源：提供热能或电能，使分析样品转化为原子蒸气状态，并使原子受激发光。常用的激发光源有电弧、电火花、火焰等，以及电感耦合等离子体、激光等新型光源。
分光系统：各种组分原子发射的多种波长的光，经分光系统(常用光栅或棱镜)分解成光谱。
检测系统： 利用照相法或光电直读法按顺序检测每条谱线的波长和强度。
发射光谱仪分为经典光谱仪和干涉调制光谱仪两类。经典光谱仪：以空间色散原理为基础。
根据记录方式的不同，又分为摄谱仪和光电直读光谱仪。
棱镜摄谱仪以棱镜为色散元件，根据光的折射现象进行分光。
光栅摄谱仪应用衍射光栅作为色散元件。光栅有平面反射光栅和凹面反射光栅两个基本类型。
干涉调制光谱仪：采用的色散原理是时间上的色散。是目前性能最好、技术上最先进的光电直读光谱仪。
发射光谱仪适用于微量和痕量无机组分分析，特别适用于样品中多种元素的同时分析。广泛用于金属、海洋、矿石、合金、稀土元素、超纯材料的分析。
等离子原子发射光谱仪特点：具有稳定性好、检测限低、快速分析、运行成本低、方便维护、抗干扰能力强等特点。