X荧光分析法是一种表面分析方法，它的样品种类比较多，有固体、粉末和液体等，在使用X荧光光谱仪进行样品测试时，误差的来源有哪些，引起的误差原因又有哪些。

引起误差的来源存在于样品的制备和样品本身引起的误差。

（1）样品的均匀性。

（2）样品的表面效应。

（3）粉末样品的粒度和处理方法。

（4）样品中存在的谱线干扰。

（5）样品本身的共存元素影响即基体效应。

（6）样品的性质。

（7）标准样品的化学值的准确性。

另外，引起样品的误差原因有：

（1）样品物理状态不同：样品的颗粒度、密度、光洁度不一样；样品的沾污、吸潮，液体样品的受热膨胀，挥发、起泡、结晶及沉淀等。

（2）样品的组分分布不均匀：样品组分的偏析、矿物效应等。

（3）样品的组成不一致：引起吸收、增qiang效应的差异造成的误差。

（4）被测元素化学结合态的改变：样品氧化，引起元素百分组成的改变；轻元素化学价态不同时，谱峰发生位移或峰形发生变化引起的误差。

（5）制样操作：在制样过程中的称量造成的误差，稀释比不一致，样品熔融不完全，样品粉碎混合不均匀，用于合成校准或基准试剂的纯度不够等。